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mems製程 ppt
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達到元件的微小化目的,這就是微機電系統(MEMS)
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4.2微機電系統.MEMS的發展由來,根源於1960年代中期利用半導體製程,製造機械結構於矽晶片上的概念後,吸引了許多人投入該技術的研究。到了1970年代中期,利用該製造 ...
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